1. Kev tshem tawm cov plua plav tawm hauv chav tsis muaj plua plav
Lub luag haujlwm tseem ceeb ntawm chav huv yog tswj kev huv, kub thiab av noo ntawm huab cua uas cov khoom (xws li silicon chips, thiab lwm yam) raug, kom cov khoom tuaj yeem tsim thiab tsim hauv qhov chaw zoo. Peb hu qhov chaw no ua chav huv. Raws li kev coj ua thoob ntiaj teb, qib kev huv huv feem ntau yog txiav txim siab los ntawm tus lej ntawm cov khoom ib lub cubic meter ntawm huab cua nrog ib txoj kab uas hla ntau dua li cov qauv kev faib tawm. Hauv lwm lo lus, lub npe hu ua hmoov av tsis yog 100% tsis muaj plua plav, tab sis tswj tau hauv chav tsev me me. Yog lawm, cov khoom uas ua tau raws li cov qauv hmoov av hauv tus qauv no twb muaj tsawg heev piv rau cov plua plav uas peb pom, tab sis rau cov qauv kho qhov muag, txawm tias cov plua plav me me yuav muaj kev cuam tshuam loj heev, yog li tsis muaj plua plav yog qhov yuav tsum tau ua hauv kev tsim cov khoom siv kho qhov muag.
Kev tswj cov hmoov av uas muaj qhov loj me dua lossis sib npaug ntawm 0.5 microns ib lub cubic meter kom tsawg dua 3520 / cubic meter yuav ncav cuag chav A ntawm cov qauv thoob ntiaj teb tsis muaj plua plav. Cov txheej txheem tsis muaj plua plav siv hauv cov txheej txheem chips thiab kev ua haujlwm muaj cov kev xav tau siab dua rau cov plua plav ntau dua li cov chav kawm A, thiab cov qauv zoo li no feem ntau yog siv los tsim cov chips siab dua. Tus naj npawb ntawm cov hmoov av yog nruj me ntsis tswj ntawm 35,200 ib lub cubic meter, uas feem ntau hu ua chav B hauv kev lag luam huv chav.
2. Peb hom kev huv huv xeev
Chav huv huv: chav huv huv uas tau tsim thiab siv tau. Nws muaj tag nrho cov kev pabcuam cuam tshuam thiab ua haujlwm. Txawm li cas los xij, tsis muaj cov cuab yeej siv los ntawm cov neeg ua haujlwm hauv lub chaw.
Chav huv huv zoo li qub: chav huv huv nrog kev ua tiav, kev teeb tsa kom zoo thiab kev teeb tsa, uas tuaj yeem siv tau raws li kev teeb tsa lossis siv, tab sis tsis muaj cov neeg ua haujlwm hauv qhov chaw.
Dynamic huv chav: chav huv huv hauv kev siv ib txwm muaj, nrog kev pabcuam ua tiav, khoom siv thiab cov neeg ua haujlwm; yog tias tsim nyog, ib txwm ua haujlwm tuaj yeem ua tiav.
3. Tswj cov khoom
(1). Muaj peev xwm tshem tawm cov plua plav uas ntab saum huab cua.
(2). tuaj yeem tiv thaiv kev tsim cov hmoov av.
(3). Tswj qhov kub thiab av noo.
(4). Kev tswj siab.
(5). Tshem tawm cov pa phem.
(6). Huab cua nruj ntawm cov qauv thiab cov khoom siv.
(7). Kev tiv thaiv hluav taws xob zoo li qub.
(8). Tiv thaiv electromagnetic cuam tshuam.
(9). Kev txiav txim siab txog kev nyab xeeb.
(10). Kev xav txog kev txuag hluav taws xob.
4. Kev faib tawm
turbulent flow type
Cov cua nkag mus rau hauv chav huv huv los ntawm lub thawv cua txias los ntawm cov pa cua thiab cov cua lim (HEPA) hauv chav huv, thiab rov qab los ntawm cov phab ntsa vaj huam sib luag los yog cov plag tsev siab ntawm ob sab ntawm chav huv. Lub airflow tsis txav mus rau hauv txoj kab ncaj nraim tab sis nthuav tawm qhov tsis sib xws los yog lub xeev eddy. Hom no haum rau chav kawm 1,000-100,000 chav huv.
Lus Txhais: Ib chav huv si uas cov cua ntws ntws ntawm qhov tsis sib xws thiab tsis sib npaug, nrog rau cov dej ntws rov qab los yog eddy tam sim no.
Lub hauv paus ntsiab lus: Cov chav huv huv turbulent cia siab rau cov huab cua hauv huab cua kom tsis tu ncua ntawm cov huab cua sab hauv tsev thiab maj mam dilute cov pa phem kom ua tiav kev huv (cov chav huv huv feem ntau yog tsim los ntawm kev huv huv siab tshaj 1,000 txog 300,000).
Nta: Cov chav huv turbulent cia siab rau ntau qhov cua kom ua tiav qhov huv thiab huv. Tus naj npawb ntawm qhov cua hloov pauv txiav txim siab qib purification hauv lub ntsiab lus (qhov hloov qhov cua ntau dua, qhov siab dua qhov huv)
(1) Lub sijhawm ntxuav tus kheej: yog hais txog lub sijhawm uas chav huv huv pib muab cua rau chav huv huv raws li tus naj npawb tsim qhov cua thiab cov plua plav concentration hauv chav mus txog qhov tsim kom huv huv chav kawm 1,000 yuav tsum tsis pub tshaj 20 feeb (15 feeb siv tau rau kev suav) chav kawm 10,000 cal3 yuav tsum tsis pub ntau tshaj 5 feeb (5 feeb) 100,000 yuav tsum tsis pub tshaj 40 feeb (30 feeb tuaj yeem siv rau kev suav)
(2) Qhov cua tshuab zaus (tsim raws li cov kev xav tau ntawm kev tu tus kheej saum toj no) chav kawm 1,000: 43.5-55.3 zaug / teev (tus qauv: 50 zaug / teev) chav kawm 10,000: 23.8-28.6 zaug / teev (tus qauv: 25 zaug / teev) chav kawm: 254-101.201. zaug / teev (tus qauv: 15 zaug / teev)
Qhov zoo: cov qauv yooj yim, tsis tshua muaj nqi tsim kho, yooj yim los nthuav chav huv, hauv qee qhov chaw tshwj xeeb, lub rooj zaum tsis muaj plua plav tuaj yeem siv los txhim kho chav huv huv.
Disadvantages: cov plua plav uas tshwm sim los ntawm turbulence ntab nyob rau hauv qhov chaw sab hauv tsev thiab tsis yooj yim rau kev tso tawm, uas tuaj yeem yooj yim paug cov txheej txheem khoom. Tsis tas li ntawd, yog tias lub kaw lus raug tso tseg thiab tom qab ntawd qhib, nws yuav siv sij hawm ntev kom ua tiav qhov yuav tsum tau ua kom huv.
Laminar ntws
Laminar flow air txav hauv ib txoj kab ncaj nraim. Cua nkag mus rau hauv chav tsev los ntawm lub lim nrog 100% kev pab them nqi thiab xa rov qab los ntawm qhov siab hauv pem teb los yog cov khoom faib tawm ntawm ob sab. Hom no yog tsim rau siv nyob rau hauv chav tsev huv si nrog cov qib cleanroom siab dua, feem ntau chav kawm 1 ~ 100. Muaj ob hom:
(1) Kab rov tav laminar ntws: Kab rov tav cua tshuab tawm ntawm lub lim hauv ib qho kev taw qhia thiab xa rov qab los ntawm cov cua xa rov qab rau ntawm phab ntsa sab nraud. Plua plav tawm sab nraum zoov nrog huab cua kev taw qhia. Feem ntau, cov pa phem yog qhov hnyav dua nyob rau sab qis.
Qhov zoo: Cov qauv yooj yim, tuaj yeem ruaj khov hauv lub sijhawm luv luv tom qab ua haujlwm.
Disadvantages: Kev tsim kho tus nqi siab dua li cov dej ntws tawm, thiab qhov chaw sab hauv tsev tsis yooj yim rau kev nthuav dav.
(2) Vertical laminar flow: Chav tsev qab nthab yog tag nrho nrog ULPA cov ntxaij lim dej, thiab huab cua yog cua tshuab los ntawm sab saum toj mus rau hauv qab, uas tuaj yeem ua tiav kev huv dua. Cov plua plav tsim tawm thaum lub sijhawm ua haujlwm lossis los ntawm cov neeg ua haujlwm tuaj yeem tawm sai sai rau sab nraum zoov yam tsis muaj kev cuam tshuam rau lwm qhov chaw ua haujlwm.
Qhov zoo: Yooj yim rau kev tswj hwm, lub xeev ruaj khov tuaj yeem ua tiav hauv lub sijhawm luv luv tom qab pib ua haujlwm, thiab tsis yooj yim cuam tshuam los ntawm lub xeev kev khiav haujlwm lossis cov neeg ua haujlwm.
Qhov tsis zoo: Cov nqi tsim kho siab, nyuaj rau kev siv qhov chaw yooj yim, lub qab nthab hangers nyob ntau qhov chaw, thiab teeb meem los kho thiab hloov cov lim dej.
Composite hom
Cov hom kev sib xyaw yog sib xyaw lossis siv cov turbulent flow type thiab laminar flow type ua ke, uas tuaj yeem muab cov huab cua huv hauv zos.
(1) Huv Si Qhov: Siv HEPA Lim los them 100% ntawm cov txheej txheem hauv cheeb tsam lossis thaj chaw ua haujlwm kom nce cov chav kawm sab saud 10, uas tuaj yeem cawm cov kev teeb tsa thiab ua haujlwm.
Hom no xav kom tus neeg teb xov tooj thaj chaw ua haujlwm raug cais tawm ntawm cov khoom thiab kev saib xyuas lub tshuab kom tsis txhob cuam tshuam rau kev ua haujlwm thiab kev ua haujlwm zoo thaum lub tshuab tu.
Kev huv huv tunnels muaj ob qhov zoo dua: A. Yooj yim kom nthuav dav; B. Kev tu cov cuab yeej tuaj yeem ua tau yooj yim hauv thaj chaw tu.
(2) Lub raj huv huv: puag ncig thiab ntxuav cov kab ntau lawm tsis siv neeg uas cov khoom ntws dhau mus, thiab nce qib kev huv mus rau saum chav kawm 100. Vim tias cov khoom, tus neeg teb xov tooj thiab cov plua plav tsim ib puag ncig raug cais tawm ntawm ib leeg, ib qho me me ntawm cov khoom siv cua tuaj yeem ua tau zoo huv si, uas tuaj yeem txuag hluav taws xob thiab tsim nyog rau cov kab ntau lawm uas tsis tas yuav siv zog ua haujlwm. Nws muaj feem xyuam rau kev lag luam tshuaj, zaub mov thiab semiconductor.
(3) Qhov chaw huv: Qhov kev huv huv ntawm cov khoom lag luam hauv cheeb tsam hauv chav huv huv nrog chav huv huv ntawm 10,000 ~ 100,000 yog nce mus rau 10 ~ 1000 lossis siab dua rau kev tsim khoom; huv si workbench, huv si, prefabricated chav huv si, thiab huv wardrobes nyob rau hauv qeb no.
Lub rooj zaum huv: chav kawm 1 ~ 100.
Lub rooj muag khoom huv si: Ib qho chaw me me uas nyob ib puag ncig los ntawm cov ntaub ntawv pov thawj zoo li qub los tiv thaiv cov ntaub yas hauv qhov chaw huv si, siv ywj siab HEPA lossis ULPA thiab cov cua txias kom dhau los ua qhov chaw siab dua, nrog rau theem ntawm 10 ~ 1000, qhov siab li ntawm 2.5 meters, thiab thaj tsam ntawm thaj tsam li 10m2 lossis tsawg dua. Nws muaj plaub tus ncej thiab nruab nrog lub log txav tau yooj yim siv.
5. Cua ntws ntws
Qhov tseem ceeb ntawm Airflow
Kev huv ntawm chav huv yog feem ntau cuam tshuam los ntawm huab cua. Hauv lwm lo lus, kev txav mus los thiab kev nthuav tawm ntawm cov plua plav tsim los ntawm tib neeg, tshuab compartments, lub tsev tsim, thiab lwm yam yog tswj los ntawm airflow.
Cov chav huv huv siv HEPA thiab ULPA lim cua, thiab nws cov plua plav sau tau siab li 99.97 ~ 99.99995%, yog li huab cua lim los ntawm cov lim dej no tuaj yeem hais tau tias huv heev. Txawm li cas los xij, ntxiv rau tib neeg, kuj muaj cov khoom siv plua plav xws li tshuab hauv chav huv. Thaum cov khoom tsim tawm no kis tau, nws tsis tuaj yeem tswj tau qhov chaw huv si, yog li cov cua ntws yuav tsum tau siv kom sai sai tshem tawm cov plua plav tawm sab nraum zoov.
Muaj feem cuam tshuam
Muaj ntau yam uas cuam tshuam rau cov cua ntws ntawm chav huv, xws li cov txheej txheem cov khoom siv, cov neeg ua haujlwm, cov khoom siv hauv chav huv si, cov khoom siv teeb pom kev zoo, thiab lwm yam. Nyob rau tib lub sijhawm, qhov sib txawv ntawm cov cua ntws saum toj ntawm cov khoom siv yuav tsum tau muab coj los xav.
Qhov taw qhia airflow diversion nyob rau saum npoo ntawm lub rooj ua haujlwm dav dav lossis cov khoom siv tsim khoom yuav tsum tau teem rau ntawm 2/3 ntawm qhov kev ncua deb ntawm qhov chaw huv si thiab lub rooj sib faib. Nyob rau hauv txoj kev no, thaum tus neeg teb xov tooj ua haujlwm, cov cua ntws tuaj yeem ntws los ntawm sab hauv ntawm cov txheej txheem mus rau qhov chaw ua haujlwm thiab tshem tawm cov plua plav; Yog hais tias lub diversion point yog configured nyob rau hauv pem hauv ntej ntawm tus txheej txheem cheeb tsam, nws yuav dhau los ua ib tug tsis tsim nyog airflow diversion. Lub sijhawm no, feem ntau ntawm cov cua ntws yuav ntws mus rau sab nraub qaum ntawm cov txheej txheem hauv cheeb tsam, thiab cov plua plav los ntawm tus neeg teb xov tooj kev ua haujlwm yuav raug nqa mus rau tom qab ntawm cov khoom siv, thiab cov chaw ua haujlwm yuav kis kab mob, thiab cov txiaj ntsig yuav inevitably txo.
Cov teeb meem xws li cov rooj ua haujlwm hauv cov chav huv huv yuav muaj cov dej ntws tawm ntawm qhov chaw sib tshuam, thiab kev huv nyob ze lawv yuav tsis zoo. Drilling lub qhov rov qab cua ntawm lub rooj ua haujlwm yuav txo qhov eddy tam sim no tshwm sim; seb qhov kev xaiv ntawm cov ntaub ntawv sib dhos yog qhov tsim nyog thiab seb cov khoom siv layout zoo meej yog qhov tseem ceeb rau seb cov cua ntws los ua qhov tshwm sim tam sim no.
6. Kev sib xyaw ntawm chav huv
Cov chav huv huv yog tsim los ntawm cov txheej txheem hauv qab no (tsis muaj ib qho tseem ceeb hauv cov txheej txheem molecules), txwv tsis pub nws yuav tsis tuaj yeem ua kom tiav chav huv huv thiab zoo:
(1) Qab nthab: nrog rau cov pas nrig qab nthab, I-beam lossis U-beam, qab nthab daim phiaj lossis qab nthab ncej.
(2) Cua txias system: nrog rau cua cabin, lim system, windmill, thiab lwm yam.
(3) Cov phab ntsa: nrog rau qhov rais thiab qhov rooj.
(4) Pem teb: nrog rau pem teb elevated lossis anti-static pem teb.
(5) Teeb pom kev zoo: LED purification tiaj tus teeb.
Cov qauv tseem ceeb ntawm chav huv huv feem ntau yog ua los ntawm cov hlau tuav lossis cov pob txha pob txha, tab sis tsis muaj teeb meem dab tsi ntawm cov qauv, nws yuav tsum ua raws li cov hauv qab no:
A. Tsis muaj qhov tawg yuav tshwm sim vim qhov kub thiab txias hloov pauv;
B. Nws tsis yog yooj yim los tsim cov plua plav, thiab nws yog qhov nyuaj rau cov khoom xa tuaj;
C. Tsawg hygroscopicity;
D. Yuav kom tswj tau cov av noo nyob rau hauv chav tsev huv si, lub thermal rwb thaiv tsev yuav tsum siab;
7. Kev faib tawm los ntawm kev siv
Muaj chav huv huv
Kev tswj ntawm inanimate hais yog qhov khoom. Nws tsuas yog tswj cov pa phem ntawm huab cua plua plav mus rau cov khoom ua haujlwm, thiab sab hauv feem ntau tswj lub xeev siab zoo. Nws yog tsim rau precision machinery kev lag luam, electronics kev lag luam (semiconductors, integrated circuits, thiab lwm yam), aerospace kev lag luam, high-purity chemical kev lag luam, atomic zog kev lag luam, kho qhov muag thiab sib nqus khoom lag luam (CD, zaj duab xis, daim kab xev ntau lawm) LCD (kua siv lead ua iav), computer hard disk, computer lub taub hau ntau lawm thiab lwm yam industries.
Biological huv chav
Feem ntau tswj cov pa phem ntawm cov khoom muaj sia (cov kab mob) thiab cov khoom tsis muaj sia (dust) rau cov khoom ua haujlwm. Nws tuaj yeem muab faib ua;
A. General biological huv huv chav: feem ntau tswj cov pa phem ntawm microbial (bacterial) khoom. Nyob rau tib lub sijhawm, nws cov khoom siv sab hauv yuav tsum muaj peev xwm tiv taus kev yaig ntawm ntau yam tshuaj tua kab mob, thiab sab hauv feem ntau lav zoo siab. Qhov tseem ceeb, cov khoom siv sab hauv yuav tsum muaj peev xwm tiv taus ntau yam kev kho kom tsis muaj menyuam ntawm chav tsev huv. Piv txwv li: kev lag luam kws tshuaj, tsev kho mob (chaw ua haujlwm, chav ua haujlwm tsis muaj menyuam), khoom noj khoom haus, tshuaj pleev ib ce, kev tsim cov khoom siv dej haus, chaw kuaj tsiaj, chaw kuaj lub cev thiab tshuaj lom neeg, chaw kuaj ntshav, thiab lwm yam.
B. Kev nyab xeeb kev nyab xeeb chav huv: feem ntau tswj cov pa phem ntawm cov khoom siv ua haujlwm rau lub ntiaj teb sab nraud thiab tib neeg. Lub siab sab hauv yuav tsum tau khaws cia tsis zoo nrog cov cua. Piv txwv li: bacteriology, biology, chav kuaj huv, lub cev engineering (recombinant genes, vaccine npaj)
Post lub sij hawm: Feb-07-2025