COV PHOOJ YWG PURIFICATION REQUIREMENTS FOR ELECTRONIC CLEAN ROOM

1. Cov chav thiab cov chaw ua haujlwm rau kev ntxuav cov neeg ua haujlwm yuav tsum tau teeb tsa raws li qhov loj thiab qhov chaw huv huv ntawm chav huv, thiab chav nyob yuav tsum tau teeb tsa.

2. Cov neeg ua haujlwm huv chav yuav tsum tau teeb tsa raws li qhov xav tau ntawm kev hloov khau, hloov cov khaub ncaws sab nraud, ntxuav cov khaub ncaws ua haujlwm, thiab lwm yam. Cov chav nyob xws li cov khoom siv los nag, chav dej, chav ntxhua khaub ncaws, chav da dej, thiab chav so, thiab lwm yam. lwm chav xws li chav da dej cua, chav airlock, chav ntxhua khaub ncaws ua haujlwm huv, thiab chav ziab khaub ncaws tuaj yeem teeb tsa raws li xav tau.

3. Qhov chaw tsim kho ntawm cov neeg ua haujlwm purification chav thiab chav nyob hauv chav huv yuav tsum tau txiav txim siab raws li qhov ntsuas ntawm chav huv huv, qib huab cua huv thiab cov neeg ua haujlwm hauv chav huv. Nws yuav tsum ua raws li qhov nruab nrab ntawm cov neeg tsim hauv chav huv.

4. Kev teeb tsa ntawm cov neeg ua haujlwm huv huv chav thiab chav nyob yuav tsum ua raws li cov cai hauv qab no:

(1) Cov chaw tu khau yuav tsum nyob ntawm qhov nkag ntawm chav huv;

(2) Kev hloov cov khaub ncaws sab nraud thiab chav hnav khaub ncaws huv yuav tsum tsis txhob teeb tsa hauv ib chav;

(3) Lub tsho tiv no yuav tsum tau teeb tsa raws li tus qauv tsim ntawm cov neeg hauv chav huv;

(4) Cov chaw khaws khaub ncaws yuav tsum tau teeb tsa kom khaws cov khaub ncaws ua haujlwm huv thiab muaj huab cua huv;

(5) Inductive ntxuav tes thiab ziab cov chaw yuav tsum tau nruab;

(6) Lub chav dej yuav tsum nyob ua ntej nkag mus rau hauv chav ua haujlwm huv. Yog hais tias nws yuav tsum tau nyob rau hauv lub chav purification ntawm cov neeg ua hauj lwm, ib tug pem hauv ntej chav tsev yuav tsum tau teem.

5. Kev tsim cov chav dej da dej hauv chav huv yuav tsum ua raws li cov cai hauv qab no:

① Cua da dej yuav tsum tau nruab rau ntawm qhov nkag ntawm chav huv. Thaum tsis muaj cua da dej, yuav tsum tau nruab ib chav cua xauv;

② Huab cua da dej yuav tsum nyob hauv thaj chaw uas nyob ib sab tom qab hloov cov khaub ncaws ua haujlwm huv;

③ Ib leeg-tus neeg da dej yuav tsum tau muab rau txhua 30 tus neeg hauv chav kawm siab tshaj plaws. Thaum muaj ntau tshaj 5 tus neeg ua haujlwm hauv chav huv huv, lub qhov rooj ntawm ib-txoj kev bypass yuav tsum tau nruab rau ntawm ib sab ntawm lub tshuab cua da dej;

④ Lub qhov nkag thiab tawm ntawm lub qhov dej da dej yuav tsum tsis txhob qhib tib lub sijhawm, thiab kev tswj xyuas cov saw hlau yuav tsum tau ua;

⑤ Rau ntsug unidirectional ntws huv chav nrog cov huab cua huv ntawm ISO 5 lossis nruj dua ISO 5, yuav tsum tau nruab chav airlock.

6. Cov huab cua huv huv ntawm cov neeg ua haujlwm huv hauv chav thiab chav nyob yuav tsum maj mam ntxuav ntawm sab nraud mus rau sab hauv, thiab cov cua huv uas tau lim los ntawm hepa cua lim tuaj yeem xa mus rau hauv chav huv.

Cov huab cua huv ntawm chav hloov khaub ncaws ua haujlwm huv yuav tsum qis dua qhov kev huv huv huv ntawm chav huv huv uas nyob ib sab; Thaum muaj chav ntxhua khaub ncaws ua haujlwm huv, huab cua huv theem ntawm chav ntxhua khaub ncaws yuav tsum yog ISO 8.