Lub nti tawm tus nqi nyob rau hauv IC kev lag luam kev lag luam yog ze ze rau qhov loj thiab tus naj npawb ntawm cov huab cua uas tso rau ntawm nti. Lub koom haum airflow zoo tuaj yeem nqa cov khoom tsim los ntawm cov plua plav tawm ntawm chav huv kom huv si kom huv si ntawm chav huv, uas yog, lub koom haum airflow hauv chav huv si plays lub luag haujlwm tseem ceeb hauv cov txiaj ntsig ntawm IC ntau lawm. Kev tsim ntawm lub koom haum airflow hauv chav huv huv yuav tsum ua kom tiav cov hom phiaj hauv qab no: txo lossis tshem tawm cov eddy tam sim no hauv qhov chaw ntws kom tsis txhob khaws cov khoom tsis zoo; tswj kom muaj qhov zoo siab gradient kom tsis txhob muaj kab mob sib kis.
Airflow zog
Raws li lub hauv paus ntsiab lus ntawm chav huv, lub zog ua haujlwm ntawm cov khoom muaj xws li lub zog loj, lub zog molecular, kev nyiam ntawm cov khoom, lub zog airflow, thiab lwm yam.
Airflow quab yuam: yog hais txog lub zog ntawm cov cua uas tshwm sim los ntawm kev xa khoom, xa rov qab airflow, thermal convection airflow, dag stirring, thiab lwm yam airflows nrog ib tug tej yam txaus nqi mus nqa cov hais. Rau kev tswj hwm ntawm chav huv huv ib puag ncig, airflow quab yuam yog qhov tseem ceeb tshaj plaws.
Cov kev sim tau pom tias nyob rau hauv airflow txav, cov khoom ua raws li cov airflow txav ntawm yuav luag tib ceev. Lub xeev ntawm cov khoom nyob rau hauv cov huab cua yog txiav txim los ntawm lub airflow faib. Cov airflows uas cuam tshuam rau sab hauv tsev feem ntau muaj xws li: cov khoom cua airflow (xws li thawj airflow thiab secondary airflow), airflow thiab thermal convection airflow tshwm sim los ntawm cov neeg taug kev, thiab airflow los ntawm cov txheej txheem kev lag luam thiab cov cuab yeej siv. Cov txheej txheem sib txawv ntawm huab cua, kev sib tshuam ceev, cov neeg ua haujlwm thiab cov cuab yeej siv, thiab cov xwm txheej tshwm sim hauv chav huv yog txhua yam cuam tshuam rau qib kev huv.
Yam cuam tshuam rau lub koom haum airflow
1. Kev cuam tshuam ntawm txoj kev xa khoom cua
(1). Cua muab ceev
Txhawm rau kom muaj huab cua tsis sib xws, huab cua ceev yuav tsum zoo ib yam hauv chav huv unidirectional; qhov chaw tuag ntawm cov khoom siv huab cua yuav tsum yog me me; thiab lub siab poob rau hauv ULPA kuj yuav tsum zoo ib yam.
Uniform huab cua ceev ceev: uas yog, qhov tsis sib xws ntawm airflow yog tswj tsis pub dhau ± 20%.
Tsawg dua qhov chaw tuag ntawm cov khoom siv huab cua: tsis yog tsuas yog yuav tsum tau txo qhov dav hlau cheeb tsam ntawm ULPA thav duab, tab sis qhov tseem ceeb tshaj, modular FFU yuav tsum tau txais los ua kom yooj yim rau cov thav duab redundant.
Txhawm rau kom ntseeg tau ntsug unidirectional airflow, lub siab poob xaiv ntawm lub lim kuj tseem ceeb heev, yuav tsum tau ua kom lub siab poob hauv lub lim tsis tuaj yeem sib txawv.
(2). Kev sib piv ntawm FFU system thiab axial flow fan system
FFU yog lub tshuab cua tshuab nrog kiv cua thiab lim (ULPA). Tom qab cov huab cua tau nqus los ntawm cov kiv cua centrifugal ntawm FFU, lub zog dynamic tau hloov mus rau hauv lub siab zoo li qub hauv cov pa cua thiab tshuab tawm sib npaug los ntawm ULPA. Cov cua nkag siab ntawm lub qab nthab yog qhov tsis zoo, yog li tsis muaj plua plav yuav nkag mus rau hauv chav huv si thaum hloov lim. Cov kev sim tau pom tias FFU system yog qhov zoo tshaj rau cov kiv cua axial txaus nyob rau hauv cov nqe lus ntawm cov cua qhov hluav taws xob sib xws, airflow parallelism thiab qhov ntsuas qhov ua haujlwm ntawm qhov cua. Qhov no yog vim hais tias airflow parallelism ntawm FFU system zoo dua. Kev siv FFU system tuaj yeem ua rau cov cua ntws hauv chav huv huv kom zoo dua qub.
(3). Kev cuam tshuam ntawm FFU tus kheej cov qauv
FFU feem ntau yog tsim los ntawm cov kiv cua, cov ntxaij lim dej, cov khoom siv qhia txog huab cua thiab lwm yam khoom siv. Ultra-high efficiency lim ULPA yog qhov tseem ceeb tshaj plaws lav rau seb chav huv huv tuaj yeem ua tiav qhov kev huv huv ntawm tus qauv tsim. Cov khoom siv ntawm lub lim yuav cuam tshuam rau qhov sib xws ntawm qhov chaw ntws. Thaum cov khoom siv lim dej ntxhib lossis laminar ntws phaj ntxiv rau lub qhov hluav taws xob lim, qhov hluav taws xob ntws tawm tuaj yeem ua tau yooj yim sib xws.
2. Kev cuam tshuam ntawm kev sib txawv ceev interfaces ntawm kev huv
Hauv tib chav huv huv, nruab nrab ntawm thaj chaw ua haujlwm thiab qhov chaw tsis ua haujlwm ntawm ntsug unidirectional ntws, vim qhov sib txawv ntawm huab cua ceev ntawm ULPA qhov hluav taws xob, qhov sib xyaw vortex yuav raug tsim tawm ntawm qhov sib cuam tshuam, thiab qhov kev sib tshuam no yuav dhau los ua qhov chaw huab cua turbulent nrog tshwj xeeb huab cua turbulence siv. Cov khoom tuaj yeem raug xa mus rau qhov chaw ntawm cov khoom siv thiab kis tau cov khoom siv thiab cov wafers.
3. Kev cuam tshuam ntawm cov neeg ua haujlwm thiab cov khoom siv
Thaum lub chav huv huv tsis muaj dab tsi, cov yam ntxwv ntawm huab cua ntws hauv chav feem ntau ua tau raws li cov qauv tsim. Thaum cov cuab yeej nkag mus rau hauv chav huv huv, cov neeg ua haujlwm txav mus thiab cov khoom raug xa mus, yuav muaj kev cuam tshuam rau lub koom haum huab cua. Piv txwv li, nyob rau ntawm lub kaum sab xis lossis cov npoo ntawm cov khoom siv, cov pa roj yuav raug hloov mus ua ib qho chaw turbulent, thiab cov kua dej hauv cheeb tsam tsis yooj yim nqa los ntawm cov pa, yog li ua rau muaj kuab paug. Nyob rau tib lub sijhawm, qhov saum npoo ntawm cov cuab yeej yuav ua kom sov vim kev ua haujlwm tas mus li, thiab qhov kub thiab txias yuav ua rau thaj tsam reflow nyob ze ntawm lub tshuab, uas yuav ua rau kom cov khoom sib xyaw ua ke hauv cheeb tsam reflow. Nyob rau tib lub sijhawm, qhov kub thiab txias yuav yooj yim ua rau cov khoom khiav tawm. Cov nyhuv dual aggravates qhov nyuaj ntawm kev tswj tag nrho ntsug laminar huv si. Cov plua plav los ntawm cov neeg ua haujlwm hauv chav huv yog yooj yim heev rau kev ua raws li cov wafers hauv cov chaw reflow no.
4. Kev cuam tshuam ntawm rov qab cua hauv pem teb
Thaum qhov kev tawm tsam ntawm huab cua rov qab los ntawm hauv pem teb yog qhov sib txawv, qhov sib txawv ntawm qhov sib txawv yuav raug tsim, yog li cov huab cua yuav ntws mus rau hauv cov kev taw qhia ntawm qhov tsis muaj zog, thiab cov huab cua tsis sib xws yuav tsis tau. Txoj kev tsim qauv nrov tam sim no yog siv cov plag tsev siab. Thaum qhov qhib qhov siab ntawm cov plag tsev yog 10%, cov cua ntws tawm hauv qhov siab ua haujlwm ntawm chav tsev tuaj yeem sib npaug. Tsis tas li ntawd, kev saib xyuas nruj yuav tsum tau them rau kev ua haujlwm tu kom txo tau cov pa phem hauv pem teb.
5. Induction tshwm sim
Lub npe hu ua induction phenomenon yog hais txog cov phenomenon uas cov airflow nyob rau hauv qhov opposite direction ntawm lub uniform flow yog generated, thiab cov plua plav generated nyob rau hauv lub chav tsev los yog cov plua plav nyob rau hauv ib puag ncig cov pa paug yog induced mus rau sab upwind, thiaj li hais tias cov plua plav tuaj yeem paug cov nti. Cov hauv qab no yog qhov ua tau induction phenomena:
(1). Phaj dig muag
Nyob rau hauv ib chav tsev huv si nrog ntsug unidirectional ntws, vim yog cov pob qij txha ntawm phab ntsa, feem ntau muaj qhov muag tsis pom daim hlau loj uas yuav ua rau muaj kev kub ntxhov hauv lub zos rov qab los.
(2). Teeb
Cov teeb pom kev zoo hauv chav huv yuav muaj kev cuam tshuam ntau dua. Txij li thaum tshav kub ntawm cov teeb fluorescent ua rau cov cua ntws nce, yuav tsis muaj qhov kub ntxhov hauv qab cov teeb fluorescent. Feem ntau, cov teeb hauv chav huv yog tsim los ntawm cov duab teardrop kom txo tau qhov cuam tshuam ntawm cov teeb ntawm lub koom haum airflow.
(3.) Qhov sib txawv ntawm phab ntsa
Thaum muaj qhov sib txawv ntawm cov partitions nrog ntau qib kev huv huv lossis nruab nrab ntawm cov partitions thiab ceilings, cov plua plav los ntawm thaj chaw uas tsis muaj kev huv huv yuav raug xa mus rau thaj chaw uas nyob ib sab nrog kev ua kom huv huv.
(4). Kev ncua deb ntawm lub tshuab thiab hauv pem teb lossis phab ntsa
Yog hais tias qhov sib txawv ntawm lub tshuab thiab hauv pem teb los yog phab ntsa yog me me, nws yuav ua rau rebound turbulence. Yog li ntawd, tawm ntawm qhov sib txawv ntawm cov khoom siv thiab cov phab ntsa thiab tsa lub tshuab kom tsis txhob cia lub tshuab kov hauv av ncaj qha.
Post lub sij hawm: Feb-05-2025