Tus nqi ntawm cov khoom siv hauv kev lag luam tsim IC muaj feem cuam tshuam nrog qhov loj thiab tus naj npawb ntawm cov khoom cua uas tso rau ntawm lub chip. Ib lub koom haum zoo ntawm cov cua tuaj yeem coj cov khoom me me uas tsim los ntawm cov hmoov av tawm ntawm chav huv kom ntseeg tau tias chav huv huv huv, uas yog, kev koom tes ntawm cov cua hauv chav huv ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv tus nqi ntawm cov khoom tsim IC. Kev tsim cov koom haum ntawm cov cua hauv chav huv yuav tsum ua tiav cov hom phiaj hauv qab no: txo lossis tshem tawm cov eddy tam sim no hauv thaj chaw ntws kom tsis txhob khaws cov khoom me me uas ua rau puas tsuaj; tswj kom muaj qhov siab zoo kom tiv thaiv kev sib kis.
Lub zog ntawm huab cua
Raws li lub hauv paus ntsiab lus ntawm chav huv, cov zog ua rau cov khoom me me suav nrog lub zog loj, lub zog molecular, kev sib nqus ntawm cov khoom me me, lub zog cua, thiab lwm yam.
Lub zog cua ntws: hais txog lub zog ntawm cov cua ntws los ntawm kev xa tawm, rov qab los, cua sov convection, kev sib xyaw dag, thiab lwm yam cua ntws nrog qee qhov nqi ntws los nqa cov khoom me me. Rau kev tswj hwm kev siv tshuab ntawm chav huv, lub zog cua ntws yog qhov tseem ceeb tshaj plaws.
Cov kev sim tau qhia tias thaum lub sijhawm cua nkag, cov khoom me me ua raws li lub zog cua nkag ntawm yuav luag tib yam ceev. Lub xeev ntawm cov khoom me me hauv huab cua yog txiav txim siab los ntawm kev faib tawm ntawm cua nkag. Cov cua nkag uas cuam tshuam rau cov khoom me me hauv tsev feem ntau suav nrog: cua nkag (suav nrog cua nkag thawj zaug thiab cua nkag thib ob), cua nkag thiab cua sov los ntawm tib neeg taug kev, thiab cua nkag los ntawm kev ua haujlwm thiab cov khoom siv hauv kev lag luam. Cov txheej txheem cua nkag sib txawv, qhov ceev sib txuas, cov neeg ua haujlwm thiab cov khoom siv hauv kev lag luam, thiab cov xwm txheej tshwm sim hauv chav huv yog txhua yam uas cuam tshuam rau qib kev huv.
Cov yam tseem ceeb uas cuam tshuam rau kev teeb tsa huab cua
1. Qhov cuam tshuam ntawm txoj kev xa cua
(1). Kev ceev ntawm cua
Yuav kom ntseeg tau tias cov cua ntws sib npaug, qhov ceev ntawm cov cua yuav tsum sib npaug hauv chav huv si; thaj chaw tuag ntawm qhov chaw muab cua yuav tsum me me; thiab qhov poob siab hauv ULPA kuj yuav tsum sib npaug.
Kev ceev ntawm cov cua xa tawm sib xws: uas yog, qhov tsis sib xws ntawm cov cua ntws raug tswj hwm hauv ± 20%.
Tsawg dua thaj chaw tuag ntawm qhov chaw muab cua: tsis yog tsuas yog yuav tsum txo qhov chaw dav hlau ntawm ULPA thav duab xwb, tab sis qhov tseem ceeb dua, modular FFU yuav tsum tau txais yuav los ua kom yooj yim rau cov thav duab rov ua dua.
Yuav kom ntseeg tau tias cov cua ntsawj mus rau ib sab ntsug, qhov kev xaiv qhov siab poob ntawm lub lim dej kuj tseem ceeb heev, uas yuav tsum tau kom qhov siab poob hauv lub lim dej tsis txhob hloov pauv.
(2). Kev sib piv ntawm FFU system thiab axial flow fan system
FFU yog ib lub tshuab cua uas muaj lub kiv cua thiab lub lim (ULPA). Tom qab lub kiv cua centrifugal ntawm FFU nqus cua, lub zog dynamic yuav hloov mus ua lub zog static hauv cov kav dej thiab ULPA tshuab tawm kom sib npaug. Lub zog cua ntawm lub qab nthab yog lub zog tsis zoo, yog li tsis muaj hmoov av yuav nkag mus rau hauv chav huv thaum hloov lub lim. Cov kev sim tau qhia tias lub kaw lus FFU zoo dua li lub kiv cua axial hauv kev sib npaug ntawm cov cua tawm, kev sib luag ntawm cov cua thiab cov ntsuas kev ua haujlwm ntawm qhov cua. Qhov no yog vim tias qhov sib luag ntawm cov cua ntawm FFU zoo dua. Kev siv lub kaw lus FFU tuaj yeem ua rau cov cua hauv chav huv zoo dua.
(3). Qhov cuam tshuam ntawm FFU tus kheej cov qauv
FFU feem ntau yog tsim los ntawm cov kiv cua, cov lim dej, cov khoom siv coj cua thiab lwm yam khoom. Lub lim dej ua haujlwm siab heev ULPA yog qhov tseem ceeb tshaj plaws rau qhov kev lees paub seb chav huv puas tuaj yeem ua tiav qhov kev tsim qauv huv si. Cov khoom siv ntawm lub lim dej kuj tseem yuav cuam tshuam rau qhov sib xws ntawm lub tshav pob ntws. Thaum cov khoom siv lim dej ntxhib lossis lub phaj ntws laminar ntxiv rau qhov hluav taws xob lim, lub tshav pob ntws tawm tuaj yeem ua kom yooj yim sib xws.
2. Kev cuam tshuam ntawm ntau qhov sib txawv ntawm kev sib txuas lus ntawm kev huv
Hauv tib chav huv, ntawm thaj chaw ua haujlwm thiab thaj chaw tsis ua haujlwm ntawm cov dej ntws ntsug unidirectional, vim qhov sib txawv ntawm qhov ceev ntawm huab cua ntawm ULPA qhov hluav taws xob, cov nyhuv vortex sib xyaw yuav tsim ntawm qhov interface, thiab qhov interface no yuav dhau los ua thaj chaw cua ntws turbulent nrog qhov siab tshwj xeeb tshaj yog cua turbulence zog. Cov khoom me me tuaj yeem kis mus rau qhov chaw ntawm cov khoom siv thiab ua rau cov khoom siv thiab wafers paug.
3. Kev cuam tshuam ntawm cov neeg ua haujlwm thiab cov khoom siv
Thaum chav huv tsis muaj dab tsi, cov yam ntxwv ntawm huab cua hauv chav feem ntau ua tau raws li qhov yuav tsum tau tsim. Thaum cov khoom siv nkag mus rau hauv chav huv, cov neeg ua haujlwm txav mus los thiab cov khoom xa mus, yuav muaj kev cuam tshuam rau lub koom haum cua ntws. Piv txwv li, ntawm cov ces kaum lossis ntug ntawm cov khoom siv, cov roj yuav raug hloov mus ua thaj chaw tsis muaj zog, thiab cov kua dej hauv thaj chaw tsis yooj yim nqa mus los ntawm cov roj, yog li ua rau muaj kuab paug. Tib lub sijhawm, qhov chaw ntawm cov khoom siv yuav kub vim yog kev ua haujlwm tas mus li, thiab qhov kub thiab txias yuav ua rau thaj chaw rov ua dua ze ntawm lub tshuab, uas yuav ua rau muaj kev sib sau ua ke ntawm cov khoom me me hauv thaj chaw rov ua dua. Tib lub sijhawm, qhov kub siab yuav yooj yim ua rau cov khoom me me khiav tawm. Qhov cuam tshuam ob npaug ua rau qhov nyuaj ntawm kev tswj hwm qhov kev huv ntawm laminar ntsug tag nrho. Cov hmoov av los ntawm cov neeg ua haujlwm hauv chav huv yooj yim heev rau kev lo rau cov wafers hauv cov cheeb tsam rov ua dua no.
4. Kev cuam tshuam ntawm huab cua rov qab los hauv pem teb
Thaum qhov kev tiv thaiv ntawm cov cua rov qab los ntawm hauv pem teb txawv, qhov sib txawv ntawm lub zog yuav tsim, yog li ntawd cov cua yuav ntws mus rau qhov kev tiv thaiv tsawg dua, thiab cov cua tsis sib xws yuav tsis tau txais. Txoj kev tsim qauv nrov tam sim no yog siv cov pem teb siab. Thaum qhov nrawm qhib ntawm cov pem teb siab yog 10%, qhov ceev ntawm cov cua hauv qhov siab ua haujlwm ntawm chav tuaj yeem faib sib npaug. Tsis tas li ntawd, yuav tsum tau ua tib zoo saib xyuas kev ua haujlwm ntxuav kom txo qhov chaw ua qias tuaj ntawm hauv pem teb.
5. Qhov tshwm sim ntawm kev cuam tshuam
Qhov hu ua induction phenomenon yog hais txog qhov phenomenon uas cov cua hauv qhov kev taw qhia rov qab ntawm cov dej ntws sib xws, thiab cov hmoov av tsim tawm hauv chav lossis cov hmoov av hauv thaj chaw muaj kuab paug nyob ib sab raug coj mus rau sab cua, yog li cov hmoov av tuaj yeem ua rau lub chip paug. Cov hauv qab no yog cov phenomenon induction uas ua tau:
(1). Phaj dig muag
Hauv chav huv si uas muaj cov dej ntws ntsug ib qho, vim yog cov pob qij txha ntawm phab ntsa, feem ntau muaj cov phaj dig muag loj uas yuav tsim kom muaj kev kub ntxhov hauv cov dej ntws rov qab hauv zos.
(2). Teeb
Cov teeb pom kev zoo hauv chav huv yuav muaj feem cuam tshuam ntau dua. Vim tias qhov kub ntawm cov teeb fluorescent ua rau cov cua ntsawj nce siab, yuav tsis muaj thaj chaw tsis muaj zog hauv qab cov teeb fluorescent. Feem ntau, cov teeb hauv chav huv yog tsim los ua cov duab kua muag kom txo qhov cuam tshuam ntawm cov teeb rau lub koom haum cua ntsawj.
(3.) Qhov sib txawv ntawm phab ntsa
Thaum muaj qhov sib txawv ntawm cov kev faib uas muaj qib kev huv sib txawv lossis ntawm cov kev faib thiab qab nthab, cov hmoov av los ntawm thaj chaw uas tsis tas yuav ntxuav ntau tuaj yeem kis mus rau thaj chaw sib ze uas xav tau kev ntxuav ntau.
(4). Qhov deb ntawm lub tshuab thiab hauv pem teb lossis phab ntsa
Yog tias qhov sib txawv ntawm lub tshuab thiab hauv pem teb lossis phab ntsa me heev, nws yuav ua rau muaj kev co rov qab. Yog li ntawd, tseg qhov sib txawv ntawm cov khoom siv thiab phab ntsa thiab tsa lub tshuab kom tsis txhob cia lub tshuab kov hauv av ncaj qha.
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Ob Hlis-05-2025