Qhov tsim tawm ntawm cov chips hauv kev lag luam tsim cov chips muaj feem cuam tshuam nrog qhov loj me thiab tus naj npawb ntawm cov huab cua uas tso rau ntawm cov chips. Kev teeb tsa cua zoo tuaj yeem coj cov khoom me me uas tsim los ntawm cov hmoov av tawm ntawm chav huv thiab xyuas kom meej tias chav huv huv huv. Ntawd yog, kev teeb tsa cua hauv chav huv ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv kev tsim cov chips. Lub hom phiaj uas yuav tsum ua tiav hauv kev tsim cov huab cua hauv chav huv huv yog: txo lossis tshem tawm cov dej ntws eddy hauv thaj chaw ntws kom tsis txhob khaws cov khoom me me uas ua rau puas tsuaj; kom tswj tau qhov siab zoo kom tiv thaiv kev sib kis.
Raws li lub hauv paus ntsiab lus ntawm chav huv, cov zog ua rau cov khoom me me suav nrog lub zog loj, lub zog molecular, kev sib nqus ntawm cov khoom me me, lub zog ntws ntawm huab cua, thiab lwm yam.
Lub zog cua ntws: hais txog lub zog ntawm cov cua ntws los ntawm kev xa thiab rov qab los ntawm cov cua, cua sov, kev co dag, thiab lwm yam cua ntws nrog qee qhov nqi ntws kom nqa cov khoom me me. Rau kev tswj hwm kev siv tshuab ib puag ncig hauv chav huv, lub zog cua ntws yog qhov tseem ceeb tshaj plaws.
Cov kev sim tau qhia tias thaum lub sijhawm cua tshuab, cov khoom me me ua raws li cua tshuab ntawm qhov ceev sib npaug. Qhov xwm txheej ntawm cov khoom me me hauv huab cua yog txiav txim siab los ntawm kev faib tawm ntawm cua tshuab. Cov teebmeem tseem ceeb ntawm cua tshuab rau cov khoom me me hauv tsev suav nrog: cua tshuab (suav nrog cua tshuab thawj zaug thiab cua tshuab thib ob), cua tshuab thiab cua sov los ntawm tib neeg taug kev, thiab qhov cuam tshuam ntawm cua tshuab rau cov khoom me me los ntawm kev ua haujlwm thiab cov khoom siv hauv kev lag luam. Cov txheej txheem cua tshuab sib txawv, qhov sib txuas ceev, cov neeg ua haujlwm thiab cov khoom siv hauv kev lag luam, cov xwm txheej tshwm sim, thiab lwm yam hauv chav huv yog txhua yam uas cuam tshuam rau qib kev huv.
1. Kev cuam tshuam ntawm txoj kev xa cua
(1) Qhov ceev ntawm cua
Yuav kom ntseeg tau tias huab cua ntws sib npaug, qhov ceev ntawm cov cua hauv chav huv si uas ntws ib txoj kev yuav tsum sib npaug; thaj chaw tuag ntawm qhov chaw muab cua yuav tsum me me; thiab qhov poob siab hauv lub lim dej hepa kuj yuav tsum sib npaug.
Qhov ceev ntawm cov cua xa tawm yog sib xws: uas yog, qhov tsis sib xws ntawm cov cua ntws yog tswj tau hauv ± 20%.
Muaj qhov chaw tuag tsawg dua ntawm qhov chaw muab cua: tsis yog tsuas yog yuav tsum txo qhov chaw dav hlau ntawm lub thav duab hepa xwb, tab sis qhov tseem ceeb dua, modular FFU yuav tsum tau siv los ua kom yooj yim rau lub thav duab redundant.
Yuav kom ntseeg tau tias cov cua ntws yog ntsug thiab unidirectional, qhov kev xaiv siab poob ntawm lub lim dej kuj tseem ceeb heev, thiab nws yog qhov yuav tsum tau ua kom qhov siab poob hauv lub lim dej tsis tuaj yeem cuam tshuam.
(2) Kev sib piv ntawm FFU system thiab axial flow fan system
FFU yog ib lub tshuab cua uas muaj lub kiv cua thiab lub lim dej hepa. Lub kiv cua centrifugal ntawm FFU nqus cov cua thiab hloov lub zog dynamic mus ua lub zog static hauv cov kav dej cua. Lub lim dej hepa tshuab tawm kom sib npaug. Lub zog cua ntawm lub qab nthab yog lub zog negative. Ua li no yuav tsis muaj hmoov av nkag mus rau hauv chav huv thaum hloov lub lim. Kev sim tau qhia tias lub kaw lus FFU zoo dua li lub kiv cua axial flow hauv kev sib npaug ntawm cov cua tawm, kev sib luag ntawm cov cua ntws thiab cov ntsuas kev ua haujlwm ntawm qhov cua. Qhov no yog vim tias qhov sib luag ntawm cov cua ntws ntawm FFU zoo dua. Kev siv lub kaw lus FFU tuaj yeem txhim kho kev teeb tsa cua ntws hauv chav huv.
(3) Kev cuam tshuam ntawm FFU tus kheej cov qauv
FFU feem ntau yog tsim los ntawm cov kiv cua, cov lim dej, cov lus qhia cua thiab lwm yam khoom. Lub lim dej HEPA yog qhov tseem ceeb tshaj plaws rau chav huv kom ua tiav qhov kev huv uas xav tau los ntawm kev tsim qauv. Cov khoom siv ntawm lub lim dej kuj tseem yuav cuam tshuam rau qhov sib xws ntawm lub tshav pob ntws. Thaum cov khoom siv lim dej ntxhib lossis lub phaj ntws ntxiv rau qhov hluav taws xob ntawm lub lim dej, lub tshav pob ntws tawm tuaj yeem ua kom sib xws.
2. Kev cuam tshuam ntawm qhov ceev interface nrog kev huv sib txawv
Hauv tib chav huv, ntawm thaj chaw ua haujlwm thiab thaj chaw tsis ua haujlwm nrog cov dej ntws ntsug unidirectional, vim qhov sib txawv ntawm qhov ceev ntawm huab cua ntawm lub thawv hepa, qhov sib xyaw vortex effect yuav tshwm sim ntawm qhov interface, thiab qhov interface no yuav dhau los ua thaj chaw cua turbulent. Qhov muaj zog ntawm huab cua turbulence yog qhov muaj zog tshwj xeeb, thiab cov khoom me me tuaj yeem kis mus rau qhov chaw ntawm lub tshuab khoom siv thiab ua rau cov khoom siv thiab wafers paug.
3. Kev cuam tshuam rau cov neeg ua haujlwm thiab cov khoom siv
Thaum chav huv tsis muaj dab tsi, cov yam ntxwv ntawm huab cua hauv chav feem ntau ua tau raws li qhov yuav tsum tau tsim. Thaum cov khoom siv nkag mus rau hauv chav huv, tib neeg txav mus los, thiab cov khoom raug thauj mus los, yuav muaj kev cuam tshuam rau lub koom haum ntawm huab cua ntws, xws li cov ntsiab lus ntse tawm ntawm lub tshuab khoom siv. Ntawm cov ces kaum lossis ntug, cov roj yuav hloov mus ua thaj chaw ntws tsis ruaj khov, thiab cov kua dej hauv thaj chaw yuav tsis yooj yim nqa mus los ntawm cov roj nkag, yog li ua rau muaj kuab paug.
Tib lub sijhawm, qhov chaw ntawm cov khoom siv kho tshuab yuav raug cua sov vim yog kev ua haujlwm tas mus li, thiab qhov kub thiab txias yuav ua rau thaj chaw rov ua dua ze ntawm lub tshuab, uas ua rau muaj kev sib sau ua ke ntawm cov khoom me me hauv thaj chaw rov ua dua. Tib lub sijhawm, qhov kub siab yuav yooj yim ua rau cov khoom me me khiav tawm. Qhov cuam tshuam ob npaug ua rau txheej txheem ntsug tag nrho. Qhov nyuaj ntawm kev tswj hwm kev huv ntawm cov kwj deg. Cov hmoov av los ntawm cov neeg ua haujlwm hauv chav huv tuaj yeem yooj yim lo rau cov wafers hauv cov chaw rov ua dua no.
4. Kev cuam tshuam ntawm huab cua rov qab los hauv pem teb
Thaum qhov kev tiv thaiv ntawm cov cua rov qab los ntawm hauv pem teb sib txawv, qhov sib txawv ntawm lub siab yuav tshwm sim, ua rau huab cua ntws mus rau qhov kev tiv thaiv me me, thiab yuav tsis tau txais cov cua ntws sib xws. Txoj kev tsim qauv nrov tam sim no yog siv hauv pem teb siab. Thaum qhov piv qhib ntawm hauv pem teb siab yog ntawm 10%, qhov ceev ntawm cov cua ntws tuaj yeem faib sib npaug ntawm qhov siab ua haujlwm sab hauv tsev. Tsis tas li ntawd, yuav tsum tau ua tib zoo saib xyuas kev ua haujlwm ntxuav kom txo qhov chaw ua qias tuaj rau hauv pem teb.
5. Qhov tshwm sim ntawm kev cuam tshuam
Qhov xwm txheej hu ua induction yog hais txog qhov xwm txheej ntawm kev tsim cov cua hauv qhov kev taw qhia rov qab rau qhov ntws sib xws, ua rau muaj hmoov av tsim hauv chav lossis hmoov av hauv cov chaw muaj kuab paug nyob ib sab ntawm sab cua, yog li ua rau cov hmoov av ua rau lub wafer paug. Cov xwm txheej uas ua tau suav nrog cov hauv qab no:
(1) Phaj dig muag
Hauv chav huv si uas muaj cov dej ntws ib txoj kev ntsug, vim yog cov pob qij txha ntawm phab ntsa, feem ntau muaj cov vaj huam sib luag loj uas yuav tsim cov dej ntws tsis ruaj khov thiab cov dej ntws rov qab hauv zos.
(2) Teeb
Cov teeb pom kev zoo hauv chav huv yuav muaj feem cuam tshuam ntau dua. Vim tias qhov kub ntawm lub teeb fluorescent ua rau cov cua ntsawj nce siab, lub teeb fluorescent yuav tsis dhau los ua thaj chaw tsis muaj zog. Feem ntau, cov teeb hauv chav huv yog tsim los ua cov duab kua muag kom txo qhov cuam tshuam ntawm cov teeb rau kev teeb tsa cov cua ntsawj.
(3) Qhov sib txawv ntawm phab ntsa
Thaum muaj qhov sib txawv ntawm cov phab ntsa faib lossis qab nthab nrog cov kev cai huv sib txawv, cov hmoov av los ntawm cov cheeb tsam uas tsis tshua muaj kev huv tuaj yeem hloov mus rau cov cheeb tsam sib ze uas muaj kev cai huv siab.
(4) Qhov kev ncua deb ntawm cov khoom siv kho tshuab thiab hauv pem teb lossis phab ntsa
Yog tias qhov sib txawv ntawm cov khoom siv tshuab thiab hauv pem teb lossis phab ntsa me me, qhov kev co rov qab yuav tshwm sim. Yog li ntawd, tseg qhov sib txawv ntawm cov khoom siv thiab phab ntsa thiab tsa lub platform tshuab kom tsis txhob kov ncaj qha rau hauv av.
Lub sijhawm tshaj tawm: Kaum Ib Hlis-02-2023