Chip yield nyob rau hauv chip manufacturing kev lag luam yog ze ze rau qhov loj thiab tus naj npawb ntawm cov huab cua hais tso rau ntawm nti.Lub koom haum huab cua zoo tuaj yeem nqa cov khoom tsim tawm los ntawm cov khoom siv plua plav tawm ntawm chav huv huv thiab xyuas kom huv ntawm chav huv.Ntawd yog, lub koom haum huab cua ntws hauv chav huv si ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv kev tawm los ntawm cov chips ntau lawm.Lub hom phiaj yuav tsum tau ua tiav nyob rau hauv kev tsim ntawm chav tsev huv si cua ntws lub koom haum yog: kom txo los yog tshem tawm cov eddy tam sim no nyob rau hauv txaus teb kom tsis txhob tuav cov teeb meem hais;kom tswj tau qhov tsim nyog zoo siab gradient los tiv thaiv kev sib kis.
Raws li lub hauv paus ntsiab lus ntawm chav huv, lub zog ua haujlwm ntawm cov khoom muaj xws li lub zog loj, lub zog molecular, kev nyiam ntawm cov khoom, cua ntws quab yuam, thiab lwm yam.
Airflow quab yuam: yog hais txog lub zog ntawm airflow los ntawm kev muab khoom thiab xa rov qab airflow, thermal convection airflow, dag dag, thiab lwm yam airflows nrog ib tug tej yam txaus nqi mus nqa hais.Rau chav huv huv ib puag ncig kev tswj hwm thev naus laus zis, huab cua ntws quab yuam yog qhov tseem ceeb tshaj plaws.
Kev sim tau pom tias nyob rau hauv airflow txav, hais raws li airflow ntawm yuav luag raws nraim tib yam ceev.Qhov xwm txheej ntawm cov khoom hauv huab cua yog txiav txim siab los ntawm kev faib cov pa tawm.Cov teebmeem tseem ceeb ntawm airflow ntawm cov khoom siv sab hauv tsev muaj xws li: cov khoom siv cua hauv tsev (xws li cov cua ntws hauv nruab nrab thiab cov cua ntws nruab nrab), cua ntws thiab thermal convection airflow tshwm sim los ntawm cov neeg taug kev, thiab qhov cuam tshuam ntawm airflow ntawm cov khoom los ntawm cov txheej txheem kev ua haujlwm thiab cov khoom siv hauv tsev.Cov txheej txheem sib txawv ntawm huab cua, kev sib tshuam ceev, cov neeg ua haujlwm thiab cov khoom siv hauv kev lag luam, qhov tshwm sim tshwm sim, thiab lwm yam hauv chav huv yog txhua yam uas cuam tshuam rau qib kev huv.
1. Kev cuam tshuam ntawm txoj kev xa khoom cua
(1) Cua mov ceev
Txhawm rau kom ntseeg tau tias huab cua tsis sib xws, huab cua ceev hauv chav huv unidirectional ntws yuav tsum tsis sib xws;qhov chaw tuag ntawm cov khoom siv huab cua yuav tsum yog me me;thiab lub siab poob hauv hepa lim yuav tsum zoo ib yam.
Cov huab cua ceev ceev tsis sib xws: uas yog, qhov tsis sib xws ntawm huab cua ntws yog tswj tsis pub dhau ± 20%.
Muaj qhov chaw tuag tsawg dua ntawm cov khoom siv huab cua: tsis yog tsuas yog yuav tsum tau txo qhov dav hlau cheeb tsam ntawm hepa thav duab, tab sis qhov tseem ceeb tshaj, modular FFU yuav tsum tau siv los ua kom yooj yim rau cov thav duab redundant.
Txhawm rau kom ntseeg tau tias cov huab cua ntws yog ntsug thiab unidirectional, lub siab poob xaiv ntawm lub lim kuj tseem ceeb heev, thiab nws yuav tsum tau ua kom lub siab poob hauv lub lim tsis tuaj yeem ua tsis ncaj.
(2) Kev sib piv ntawm FFU system thiab axial flow fan system
FFU yog lub tshuab cua tshuab nrog kiv cua thiab lim hepa.Cov huab cua yog nqus los ntawm cov kiv cua centrifugal ntawm FFU thiab hloov lub zog dynamic mus rau qhov siab zoo li qub hauv cov pa cua.Nws yog tshuab tawm tusyees los ntawm hepa lim.Cov cua nkag siab ntawm lub qab nthab yog qhov tsis zoo siab.Txoj kev no tsis muaj plua plav yuav nkag mus rau hauv chav huv huv thaum hloov lub lim.Cov kev sim tau pom tias FFU system yog qhov zoo tshaj plaws rau cov kiv cua axial txaus nyob rau hauv cov nqe lus ntawm cov cua qhov hluav taws xob sib xws, huab cua txaus sib luag thiab qhov ntsuas cua ua haujlwm.Qhov no yog vim huab cua khiav parallelism ntawm FFU system zoo dua.Kev siv FFU system tuaj yeem txhim kho lub koom haum huab cua hauv chav huv.
(3) Kev cuam tshuam ntawm FFU tus kheej cov qauv
FFU feem ntau yog tsim los ntawm cov kiv cua, cov ntxaij lim dej, cov lus qhia huab cua thiab lwm yam.Lub hepa lim yog qhov tseem ceeb tshaj plaws lav rau chav huv kom ua tiav qhov kev huv huv uas xav tau los ntawm kev tsim.Cov khoom siv ntawm lub lim yuav cuam tshuam rau qhov sib xws ntawm qhov chaw ntws.Thaum cov khoom siv lim dej ntxhib lossis cov phaj ntws tau ntxiv rau lub qhov hluav taws xob lim, qhov hluav taws xob ntws tawm tuaj yeem ua kom zoo ib yam.
2. Kev cuam tshuam ntawm kev sib txuas ceev nrog kev huv huv
Hauv tib chav huv huv, nruab nrab ntawm thaj chaw ua haujlwm thiab thaj chaw tsis ua haujlwm nrog ntsug unidirectional ntws, vim qhov sib txawv ntawm huab cua ceev ntawm lub thawv hepa, cov nyhuv vortex sib xyaw yuav tshwm sim ntawm qhov sib cuam tshuam, thiab qhov kev sib tshuam no yuav ua rau muaj kev kub ntxhov. airflow tsam.Qhov kev siv ntawm huab cua turbulence yog tshwj xeeb tshaj yog muaj zog, thiab hais tias tej zaum yuav kis tau mus rau saum npoo ntawm cov khoom siv tshuab thiab kis tau cov khoom thiab wafers.
3. Kev cuam tshuam rau cov neeg ua haujlwm thiab cov khoom siv
Thaum chav huv huv yog khoob, cov yam ntxwv ntawm huab cua hauv chav feem ntau ua tau raws li cov qauv tsim.Thaum cov cuab yeej nkag mus rau hauv chav huv huv, tib neeg txav mus, thiab cov khoom thauj khoom, muaj qhov cuam tshuam tsis zoo rau lub koom haum huab cua ntws, xws li cov ntsiab lus ntse tawm los ntawm cov khoom siv tshuab.Ntawm cov ces kaum lossis cov npoo, cov pa roj yuav hloov mus rau qhov chaw ntws tawm, thiab cov kua dej hauv cheeb tsam yuav tsis yooj yim nqa tawm los ntawm cov pa tuaj, yog li ua rau muaj kuab paug.
Nyob rau tib lub sijhawm, qhov saum npoo ntawm cov cuab yeej siv tshuab yuav raug cua sov vim kev ua haujlwm tas mus li, thiab qhov kub thiab txias gradient yuav ua rau thaj tsam reflow ze ntawm lub tshuab, uas ua rau cov khoom sib xyaw ua ke hauv cheeb tsam reflow.Nyob rau tib lub sijhawm, qhov kub thiab txias yuav yooj yim ua rau cov khoom khiav tawm.Cov nyhuv dual intensifies tag nrho ntsug txheej.Qhov nyuaj ntawm kev tswj cov dej huv huv.Plua plav los ntawm cov neeg ua haujlwm hauv chav huv huv tuaj yeem yooj yim ua raws cov wafers hauv cov chaw reflow no.
4. Kev cuam tshuam ntawm rov qab cua hauv pem teb
Thaum qhov kev tawm tsam ntawm cov huab cua rov qab los ntawm hauv pem teb yog qhov sib txawv, qhov sib txawv ntawm qhov siab yuav tshwm sim, ua rau huab cua ntws mus rau qhov kev taw qhia me me, thiab cov huab cua tsis sib xws yuav tsis tau.Txoj kev tsim qauv nrov tam sim no yog siv hauv pem teb siab.Thaum qhib qhov sib piv ntawm qhov siab hauv pem teb yog nyob ntawm 10%, huab cua khiav nrawm tuaj yeem faib ua tus sib npaug ntawm qhov siab ua haujlwm sab hauv.Tsis tas li ntawd, kev saib xyuas nruj yuav tsum tau them rau kev ua haujlwm tu kom txo tau cov pa phem hauv pem teb.
5. Induction tshwm sim
Lub npe hu ua induction phenomenon yog hais txog qhov tshwm sim ntawm kev tsim cov cua nkag mus rau qhov sib txawv ntawm qhov sib txawv, ua rau cov plua plav tawm hauv chav lossis plua plav nyob rau hauv qhov chaw uas nyob ib sab mus rau sab saud, yog li ua rau cov plua plav paug cov wafer.Muaj peev xwm induced phenomena muaj xws li cov hauv qab no:
(1) Qhov muag tsis pom phaj
Nyob rau hauv ib chav tsev huv si nrog ntsug ib-txoj kev ntws, vim yog cov pob qij txha ntawm phab ntsa, feem ntau muaj cov qhov muag tsis pom loj loj uas yuav ua rau muaj kev kub ntxhov thiab hauv zos rov qab.
(2) Lub teeb
Cov teeb pom kev zoo hauv chav huv yuav muaj kev cuam tshuam ntau dua.Txij li thaum tshav kub ntawm lub teeb fluorescent ua rau airflow nce, lub teeb fluorescent yuav tsis ua ib qho chaw turbulent.Feem ntau, cov teeb hauv chav huv yog tsim los ntawm cov duab teardrop kom txo tau qhov cuam tshuam ntawm cov teeb ntawm lub koom haum airflow.
(3) Qhov sib txawv ntawm phab ntsa
Thaum muaj qhov sib txawv ntawm cov phab ntsa los yog cov qab nthab uas muaj qhov sib txawv ntawm kev ua kom huv si, cov plua plav los ntawm cov chaw uas tsis muaj qhov yuav tsum tau ua kom huv si tuaj yeem hloov mus rau thaj chaw uas nyob ib sab uas yuav tsum muaj kev huv huv.
(4) Qhov kev ncua deb ntawm cov cuab yeej siv tshuab thiab hauv pem teb lossis phab ntsa
Yog tias qhov sib txawv ntawm cov cuab yeej siv tshuab thiab hauv pem teb lossis phab ntsa me me, qhov rov ua kom muaj zog yuav tshwm sim.Yog li ntawd, tawm ntawm qhov sib txawv ntawm cov khoom siv thiab cov phab ntsa thiab tsa lub tshuab platform kom tsis txhob muaj kev sib cuag ncaj qha rau hauv av.
Post lub sij hawm: Nov-02-2023