Niaj hnub no, txoj kev loj hlob ntawm ntau yam kev lag luam yog nrawm heev, nrog rau cov khoom tshiab tas li thiab cov kev xav tau siab dua rau cov khoom zoo thiab ib puag ncig ecological.Qhov no qhia tau hais tias ntau yam kev lag luam tseem yuav muaj kev xav tau ntau dua rau kev tsim chav huv.
Tus qauv tsim chav huv huv
Tus qauv tsim qauv rau chav huv hauv Suav teb yog GB50073-2013 tus qauv.Qhov sib npaug ntawm huab cua huv hauv chav huv thiab huv huv yuav tsum tau txiav txim siab raws li cov lus hauv qab no.
| Chav kawm | Maximum Particle/m3 | FED STD 209EE sib npaug | |||||
| > = 0.1 µm | > = 0.2 µm | > = 0.3 µm | > = 0.5 µm | > = 1 µm | > = 5 µm | ||
| ISO 1 | 10 | 2 | |||||
| ISO 2 | 100 | 24 | 10 | 4 | |||
| ISO 3 | 1,000 | 237 | 102 | 35 | 8 | Chav Kawm 1 | |
| ISO 4 | 10,000 | 2,370 ib | 1,020 ib | 352 ib | 83 | Chav Kawm 10 | |
| ISO 5 | 100,000 | 23.700 Nws | 10,200 ib | 3,520 ib | 832 ib | 29 | Chav Kawm 100 |
| ISO 6 | 1,000,000 | 237.000 Nws | 102,000 ib | 35.200 Nws | 8,320 ib | 293 ib | Chav Kawm 1,000 |
| ISO 7 | 352,000 Nws | 83.200 Nws | 2,930 ib | Chav Kawm 10,000 | |||
| ISO 8 | 3,520,000 ib | 832,000 ib | 29.300 Nws | Chav Kawm 100,000 | |||
| ISO 9 | 35.200.000 Nws | 8.320.000 Nws | 293.000 Nws | Chav Cua | |||
Cov qauv cua ntws thiab muab cov cua ntim hauv cov chav huv
1. Tus qauv tsim ntawm cov qauv airflow yuav tsum ua raws li cov cai hauv qab no:
(1) Cov qauv airflow thiab muab cov huab cua ntim ntawm chav huv huv (chaw) yuav tsum ua tau raws li qhov yuav tsum tau ua.Thaum qhov kev xav tau ntawm huab cua huv yog nruj dua li ISO 4, unidirectional ntws yuav tsum tau siv;Thaum huab cua huv nyob nruab nrab ntawm ISO 4 thiab ISO 5, unidirectional ntws yuav tsum tau siv;Thaum huab cua huv yog ISO 6-9, yuav tsum tsis txhob siv cov unidirectional ntws.
(2) Kev faib tawm ntawm huab cua hauv chav ua haujlwm huv yuav tsum tsis tu ncua.
(3) Lub airflow tshaj tawm nyob rau hauv chav huv chav ua haujlwm yuav tsum ua kom tau raws li cov txheej txheem tsim khoom.
2. Cov khoom siv cua ntim ntawm chav huv huv yuav tsum coj tus nqi siab tshaj ntawm peb yam khoom nram qab no:
(1) Cov khoom siv cua ntim uas ua tau raws li qhov yuav tsum tau ua ntawm huab cua huv.
(2) Cov huab cua ntim ntim tau txiav txim siab raws li kev suav ntawm cov cua sov thiab cov av noo.
(3) Cov txiaj ntsig ntawm cov huab cua tshiab yuav tsum tau them rau cov pa tawm sab hauv tsev thiab tuav lub siab zoo hauv tsev;Xyuas kom meej tias huab cua ntshiab rau txhua tus neeg hauv chav huv huv tsis pub tsawg dua 40m toj ib teev ³.
3. Kev teeb tsa ntawm ntau qhov chaw nyob hauv chav huv huv yuav tsum xav txog qhov cuam tshuam ntawm cov qauv ntawm cov cua ntws thiab kev huv huv, thiab yuav tsum ua raws li cov cai hauv qab no:
(1) Lub chaw ua haujlwm huv yuav tsum tsis txhob muab tso rau hauv chav ua haujlwm huv huv unidirectional, thiab lub qhov hluav taws xob rov qab ntawm chav dej tsis huv yuav tsum nyob deb ntawm chav ua haujlwm huv.
(2) Cov txheej txheem cov cuab yeej uas yuav tsum tau muaj qhov cua yuav tsum tau teem rau ntawm downwind sab ntawm chav huv.
(3) Thaum muaj cov cuab yeej siv cua sov, kev ntsuas yuav tsum tau ua kom txo tau qhov cuam tshuam ntawm cov cua kub ntws ntawm cov pa xa hluav taws xob.
(4) Lub siab seem valve yuav tsum tau teem rau ntawm downwind sab ntawm cov pa huv si.
Kev kho cua purification
1. Kev xaiv, kev npaj, thiab kev teeb tsa cov lim cua yuav tsum ua raws li cov cai hauv qab no:
(1) Kev kho cua kom huv yuav tsum xaiv cov lim cua kom tsim nyog raws li qib ntawm kev huv huv.
(2) Kev ua tiav huab cua ntim ntawm lub lim cua yuav tsum tsawg dua lossis sib npaug ntawm cov ntsuas huab cua.
(3) Cov lim cua nruab nrab lossis hepa yuav tsum tau muab tso rau hauv qhov zoo siab ntawm lub thawv cua txias.
(4) Thaum siv sub hepa lim thiab hepa lim raws li cov ntxaij lim dej kawg, lawv yuav tsum tau teem rau qhov kawg ntawm lub tshuab ua kom huv huv.Ultra hepa lim yuav tsum tau teem rau qhov kawg ntawm lub tshuab ua kom huv si.
(5) Kev ua haujlwm zoo ntawm hepa (sub hepa, ultra hepa) huab cua lim tau teeb tsa hauv tib chav huv yuav tsum zoo sib xws.
(6) Cov txheej txheem kev teeb tsa ntawm hepa (sub hepa, ultra hepa) cua lim yuav tsum nruj, yooj yim, txhim khu kev qha, thiab yooj yim los kuaj xyuas cov xau thiab hloov.
2. Cov huab cua ntshiab ntawm lub tshuab ua kom huv si hauv cov chaw ua haujlwm huv huv loj yuav tsum tau kho hauv nruab nrab rau kev ua kom huv huv.
3. Kev tsim lub tshuab ua kom huv huv yuav tsum ua kom siv tau cov cua rov qab los.
4. Cov kiv cua ntawm lub tshuab ua kom huv si yuav tsum tau txais kev hloov pauv zaus.
- Kev tiv thaiv kev tiv thaiv kev tiv thaiv kev tiv thaiv yuav tsum tau ua rau cov huab cua sab nraum zoov nyob rau hauv qhov chaw txias thiab txias heev.
Cua sov, qhov cua, thiab tswj cov pa taws
1. Cov chav huv huv uas muaj huab cua huv siab dua li ISO 8 tsis raug tso cai siv lub tshuab hluav taws xob rau cua sov.
2. Cov khoom siv hluav taws xob hauv zos yuav tsum tau nruab rau cov txheej txheem cov cuab yeej uas tsim cov plua plav thiab cov pa phem hauv chav huv.
3. Hauv cov xwm txheej hauv qab no, lub tshuab tso pa hauv zos yuav tsum tau teeb tsa nyias:
(1) Cov pa nruab nrab sib xyaw ua ke tuaj yeem tsim lossis ua rau muaj kev cuam tshuam ntau ntxiv, toxicity, combustion thiab tawg phom sij, thiab hla kev sib kis.
(2) Cov pa nruab nrab muaj cov pa phem.
(3) Cov pa nruab nrab muaj cov nplaim hluav taws kub thiab tawg.
4. Kev tsim qauv ntawm chav huv huv yuav tsum ua raws li cov cai hauv qab no:
(1) Sab nraum zoov airflow backflow yuav tsum tau tiv thaiv.
(2) Lub tshuab hluav taws xob hauv zos uas muaj cov nplaim hluav taws thiab cov khoom tawg yuav tsum tau txais kev tiv thaiv hluav taws thiab tawg raws li lawv lub cev thiab tshuaj lom neeg.
(3) Thaum cov concentration thiab emission tus nqi ntawm cov teeb meem nyob rau hauv lub tso pa nruab nrab tshaj lub teb chaws los yog lub regional kev cai ntawm teeb meem tshuaj emission concentration thiab emission npaum li cas, yuav tsum tau ua kev kho mob tsis zoo.
(4) Rau cov tshuab tso pa uas muaj dej vapor thiab cov khoom siv condensable, qhov chaw qis thiab qhov hluav taws xob tawm yuav tsum tau teeb tsa.
5. Kev ntsuas qhov cua yuav tsum raug coj mus rau cov chav tsim khoom xws li hloov khau, khaws cov khaub ncaws, ntxhua khaub ncaws, chav dej, thiab da dej, thiab qhov ntsuas kub hauv tsev yuav tsum qis dua qhov chaw huv.
6. Raws li cov txheej txheem tsim khoom, yuav tsum tau teeb tsa qhov kev sib tsoo.Lub tshuab hluav taws xob tso hluav taws xob yuav tsum tau nruab nrog lub tshuab hluav taws xob tsis siv neeg thiab phau ntawv tswj cov keyboards, thiab phau ntawv tswj cov keyboards yuav tsum nyob sib cais hauv chav huv thiab sab nraud kom yooj yim ua haujlwm.
7. Kev teeb tsa cov pa pa tawm hauv cov chaw ua haujlwm huv yuav tsum ua raws li cov cai hauv qab no:
(1) Cov khoom siv hluav taws xob hluav taws xob yuav tsum tau muab tso rau hauv qhov chaw khiav tawm ntawm cov chaw ua haujlwm huv.
(2) Cov chaw tso pa taws tau teeb tsa hauv chav ua haujlwm huv yuav tsum ua raws li cov kev cai ntawm lub teb chaws tus qauv tam sim no.
Lwm yam kev ntsuas rau kev tsim chav huv
1. Lub rooj cob qhia huv yuav tsum tau nruab nrog cov chav thiab cov chaw rau cov neeg ua haujlwm huv thiab huv cov khoom siv, nrog rau cov chav nyob thiab lwm chav raws li xav tau.
2. Kev teeb tsa cov neeg ua haujlwm huv huv chav thiab chav nyob yuav tsum ua raws li cov cai hauv qab no:
(1) Ib chav yuav tsum tau teeb tsa rau cov neeg ua haujlwm huv, xws li khaws cov iav nag, hloov khau thiab tsho tiv no, thiab hloov cov khaub ncaws ua haujlwm huv.
(2) Cov chav dej, chav dej, chav da dej, chav so thiab lwm chav nyob, nrog rau cov chav da dej, cua xauv, chav ua haujlwm ntxhua khaub ncaws, thiab chav ziab khaub ncaws, tuaj yeem teeb tsa raws li xav tau.
3. Kev tsim cov chav ua haujlwm huv thiab chav nyob yuav tsum ua raws li cov cai hauv qab no:
(1) Kev ntsuas rau kev ntxuav khau yuav tsum tau nruab rau ntawm qhov nkag ntawm chav ua haujlwm huv.
(2) Cov chav rau khaws cov tsho loj thiab hloov cov khaub ncaws ua haujlwm huv yuav tsum tau teeb tsa nyias.
(3) Lub txee rau khaub ncaws sab nrauv yuav tsum tsim nrog ib lub txee rau ib tus neeg, thiab cov khaub ncaws ua haujlwm huv yuav tsum tau dai rau hauv lub txee huv si nrog cua tshuab thiab da dej.
(4) Lub chav da dej yuav tsum muaj cov chaw ntxuav tes thiab ziab.
(5) Chav dej da dej yuav tsum nyob ntawm qhov nkag ntawm cov neeg ua haujlwm hauv thaj chaw huv thiab nyob ib sab ntawm chav hloov khaub ncaws ua haujlwm huv.Ib chav da dej ib leeg yog teem rau txhua txhua 30 tus neeg nyob rau hauv qhov siab tshaj plaws ntawm kev hloov.Thaum muaj ntau tshaj 5 tus neeg ua haujlwm hauv thaj chaw huv, lub qhov rooj hla yuav tsum tau nruab rau ntawm ib sab ntawm chav da dej.
(6) Vertical unidirectional flow cleanrooms uas nruj dua ISO 5 yuav tsum muaj cua xauv.
(7) Tsis pub tso chav dej hauv qhov chaw huv.Lub chav dej hauv chav ua haujlwm huv yuav tsum muaj chav nyob pem hauv ntej.
4. Txoj kev taug kev taug kev yuav tsum ua raws li cov cai hauv qab no:
(1) Txoj kev taug kev ntws yuav tsum tsis txhob muaj kev sib tshuam sib tshuam.
(2) Kev teeb tsa ntawm cov neeg ua haujlwm huv huv chav thiab chav nyob yuav tsum ua raws li cov txheej txheem ntxuav cov neeg ua haujlwm.
5. Raws li qhov sib txawv ntawm huab cua huv thiab cov neeg ua haujlwm, thaj tsam ntawm cov neeg ua haujlwm purification chav thiab chav nyob hauv chav ua haujlwm huv yuav tsum tau txiav txim siab tsim nyog, thiab yuav tsum tau xam raws li qhov nruab nrab ntawm cov neeg nyob hauv thaj chaw huv. tsim, xws li los ntawm 2 square meters mus rau 4 square meters rau ib tug neeg.
6. Cov kev cai ua kom huv huv rau kev ua haujlwm huv khaub ncaws hloov chav thiab chav ntxhua khaub ncaws yuav tsum tau txiav txim siab raws li cov txheej txheem cov khoom yuav tsum tau thiab cov huab cua huv theem ntawm cov chav huv si uas nyob ib sab (cov cheeb tsam).
7. Cov khoom siv hauv chav huv huv thiab cov khoom nkag thiab tawm yuav tsum tau nruab nrog cov khoom siv huv huv thiab cov chaw ua haujlwm raws li cov khoom, cov duab, thiab lwm yam khoom siv thiab cov khoom siv.Kev teeb tsa ntawm chav ua kom huv ntawm cov khoom siv yuav tsum tiv thaiv kom tsis txhob muaj cov khoom siv purified thaum sib kis.
Post lub sij hawm: Lub Xya hli ntuj-17-2023